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名称:稀土纳米氧化铈基CMP抛光液更新时间:2026-05-25 14:32:30 |

更新时间:2026-05-25 14:32:30
以纳米级氧化铈为磨料的化学机械抛光浆料,搭配专用分散体系、pH调控剂、表面助剂复配制成,是半导体化学机械抛光(CMP)核心耗材,依托稀土材料独特理化特性,兼顾化学腐蚀软化与机械微磨削双重作用,可实现晶圆、光学基材、碳化硅等材料平坦化加工,适配芯片制程及抛光场景,附属高附加值稀土深加工半导体材料。
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